04.高精度直线电机XY平台


产品类型

ZHLM-X150-Y150

X/上轴

Y/下轴

最大行程

150 mm

150 mm

分辨率

1Vpp

1 Vpp

定位精度

2μm

2μm

重复精度

±0.5μm3δ)

±0.5μm3δ)

直线度

5μm(可定制,最高达2μm

5μm(可定制,最高达2μm

平面度

5μm(可定制,最高达2μm

5μm(可定制,最高达2μm

最大速度

500 mm/s

500 mm/s

最大加速度

15000m/s²

15000m/s²

最大负载

5 kg

外形尺寸

300x300x107mm

质量

24 kg